應(yīng)用場景：ASML EUV光刻機晶圓臺驅(qū)動

滾珠絲杠作用：控制晶圓臺的納米級移動，確保曝光精度。

技術(shù)參數(shù)：

• 直徑：16mm，導(dǎo)程：2mm（微導(dǎo)程設(shè)計）

• 精度等級：C0級（定位精度±0.001mm）

• 溫控要求：±0.1℃內(nèi)（減少熱變形）

優(yōu)勢：超高精度、抗振設(shè)計，匹配激光干涉儀閉環(huán)反饋系統(tǒng)。